Michell Pura Online Hygrometer

Michell Pura Online Hygrometer

Pura er en liten, robust fuktsensor/hygrometer for ultrarene gasser, og en økonomisk løsning for deteksjon av fuktgjennombrudd i applikasjoner med krav til ekstremt lav sporfuktighet. I motsetning til Easidew-serien, som dekker et bredt duggpunktområde ned til –110°C, er Pura spesialisert på den tørreste enden av skalaen — ned til –120°Cdp, tilsvarende under 1 del per milliard (ppbV). Transmitteren er enkel å installere og bruke, enten som ren transmitter eller som komplett hygrometersystem med monitor, og støttes av samme sensor exchange-program som resten av Michells transmittersortiment.

Sporfuktighet ned til 1 ppbV
I mange høyrenhetsapplikasjoner, som i halvlederindustrien, er restfuktinnholdet i gassen avgjørende for at prosessen skal fungere tilfredsstillende. Historisk har måling av sporfuktighet på dette nivået krevd kompliserte fuktanalysatorer eller kostbare analytiske teknikker. Pura bygger på Michells erfaring med produksjon og kalibrering av den keramiske metalloksid-duggpunktsensoren, og gir et enkelt, kostnadseffektivt alternativ for online-måling ned til –120°C — det første rimelige transmitteralternativet egnet for storskala integrasjon i et halvlederfabrikkanlegg eller en høyrenhets gasslinje. Prøveblokken er i kaldtrukket, elektropolert rustfritt stål (0,1–0,2 Ra µm), og produktet kan leveres dobbeltpakket i renromsemballasje for å sikre at renheten opprettholdes helt frem til installasjon. Driftstrykket spenner fra tilnærmet vakuum (10⁻⁷ Pa) helt opp til 240 barg, noe som dekker svært mange prosessforhold i tillegg til rene gasslinjer.

Velg overvåkingsnivå etter behov og budsjett
Pura-transmitteren kan leveres alene, eller kombinert med en av to monitorløsninger tilpasset ulike behov og budsjett. Pura Online er den økonomiske løsningen, med bestillingsvalgt duggpunkt- eller fuktinnhold-skalering, én 4–20 mA-utgang, Modbus RTU over RS485, og 2 programmerbare alarmreleer. Pura Advanced Online 2 gir full fleksibilitet: dobbel visning av fuktighet og trykk med live trykkompensasjon, berøringsskjerm der sluttbrukeren selv kan velge skalering, tre 4–20 mA-utganger, Modbus RTU over RS485 og 4 programmerbare alarmreleer. Transmitteren finnes i tillegg i 2-leder-, 3-leder- og digital (Pura M12) utgave, samt som egensikker Pura I.S. med global sertifisering (ATEX, UKCA, IECEx, cQPSus, EAC) for eksplosjonsfarlige soner.

Egenskaper

• Måleområde –120…–40°Cdp
• Nøyaktighet ±1°Cdp (–40…–60°Cdp), ±2°Cdp (–60…–100°Cdp), ±4°Cdp (–100…–120°Cdp, ekstrapolert)
• 7-punkts sporbart kalibreringssertifikat
• Driftstrykk 10⁻⁷ Pa (vakuum) til maks 240 barg
• Prosesstilkobling: ¼" eller ½" VCR (kaldtrukket, elektropolert rustfritt stål)
• Elektrisk tilkobling: MiniDIN 43650 form C eller M12 5-pin
• Vekt: 450 g (Premium/OEM), 180 g (Sensor)
• IP66/NEMA 4 (Pura M12: IP65)
• Egensikker sertifisering tilgjengelig (Pura I.S.): ATEX/UKCA, IECEx, TR CU, cQPSus
• Monitor (Advanced Online 2): 5½-sifret oppløsning, live trykkompensasjon, IP54/NEMA 2/12K
• Monitor (Online, økonomisk): 4-sifret oppløsning, enkel 4–20 mA-utgang, IP65 front/IP20 bak

Typiske applikasjoner

• Gassrenseanlegg
• Halvlederproduksjon
• Rene gasser
• Fiberoptikkproduksjon
• Optisk belegningsprosess
• Produksjon av elektroniske komponenter
• Produksjon og distribusjon av spesialgasser

For mer informasjon se datablad her på siden, eller ta kontakt med oss.